Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2009» (ICMNE-2009) включающая расширенную секцию «Квантовая информатика – 2009» (QI-2009) будет проводиться с 5 по 9 октября 2009 г. в пансинате «Липки», Звенигород, Московская обл. Она продолжает серию Всероссийских конференций MНE-1999”, “MНE-2001”, "КИ-2002" и международных конференций “ICMNE-2003”, "QI-2004", “ICMNE-2005”, "QI-2005". “ICMNE-2007”, "QI-2007".

   В рамках конференции традиционно проводится выставка диагностического и технологического оборудования для микроэлектроники.

   Официальный язык конференции ICMNE-2009 - английский.

Тематика:

Материалы, пленки для микро- и наноэлектроники:

• КНИ, напряженный Si, SiGe, GaAs, GaN
• Тонкие пленки, high-k диэлектрики, low-k диэлектрики
• Материалы для металлических затворов, контактов и систем металлизации микро- и наноразмерных приборов
• Магнитные материалы. Наномагнетики
• Нанотрубки
• Материалы для оптоэлектроники, солнечной энергетики, метаматериалы

Технологии микро- и наноэлектроники, технологическое оборудование:

• Суб-100 нм литография: DUV, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
• Плазменные процессы и технологии для микро- и наноэлектроники
• Ионная имплантация: пучковая и плазменно-иммерсионная
• Процессы CVD, молекулярная эпитаксия

Метрология:

• Методы мониторинга технологических процессов, определение момента окончания процессов
• Методы диагностики и характеризация микро- и наноструктур

Физика и технология микро- и наноразмерных приборов:

• Нанотранзисторы: МДП, одноэлектронные. Память на квантовых точках. Интегральная схемотехника
• Магнитные микро- и наноструктуры
• Спинтроника
• Сверхпроводящие микро-, наноприборы и системы
• Молекулярная электроника
• Приборы оптоэлеткроники, фотоники
• Микро- и нано- электромеханические системы (MEMS, NEMS)

Моделирование:

• Моделирование технологических процессов
• Моделирование микро- и наноэлектронных приборов, устройств
• Моделирование ИС

Квантовая информатика:

• Quantum computer and complex quantum systems modeling (quantum computer problems, computer simulation of quantum systems, decoherence, entanglement)
• Quantum information processing (quantum information, applications of quantum methods)
• Quantum cryptography (quantum channels, nonlocality, security, error correction)

   Оргкомитет ICMNE-2009 приветствует доклады, присланные от академического сообщества, университетов, промышленности. Около 80 докладов будут отобраны для устной презентации, остальные будут представлены в виде постеров. Программный комитет будет оказывать предпочтение докладам, содержащим результаты последних оригинальных исследований, соответствующих тематике конференции. Тезисы доклада и полные тексты для публикации в SPIE должны быть написаны ясным и лаконичным английским языком.

Последний срок отправки тезисов 31 июля , 2009.