Тематика:

Материалы, пленки для микро- и наноэлектроники:

• КНИ, напряженный Si, SiGe, GaAs, GaN
• Тонкие пленки, high-k диэлектрики, low-k диэлектрики
• Материалы для металлических затворов, контактов и систем металлизации микро- и наноразмерных приборов
• Магнитные материалы. Наномагнетики
• Нанотрубки
• Материалы для оптоэлектроники, солнечной энергетики, метаматериалы

Технологии микро- и наноэлектроники, технологическое оборудование:

• Суб-100 нм литография: DUV, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
• Плазменные процессы и технологии для микро- и наноэлектроники
• Ионная имплантация: пучковая и плазменно-иммерсионная
• Процессы CVD, молекулярная эпитаксия

Метрология:

• Методы мониторинга технологических процессов, определение момента окончания процессов
• Методы диагностики и характеризация микро- и наноструктур

Физика и технология микро- и наноразмерных приборов:

• Нанотранзисторы: МДП, одноэлектронные. Память на квантовых точках. Интегральная схемотехника
• Магнитные микро- и наноструктуры
• Спинтроника
• Сверхпроводящие микро-, наноприборы и системы
• Молекулярная электроника
• Приборы оптоэлеткроники, фотоники
• Микро- и нано- электромеханические системы (MEMS, NEMS)

Моделирование:

• Моделирование технологических процессов
• Моделирование микро- и наноэлектронных приборов, устройств
• Моделирование ИС

Квантовая информатика:

• Quantum computer and complex quantum systems modeling (quantum computer problems, computer simulation of quantum systems, decoherence, entanglement)
• Quantum information processing (quantum information, applications of quantum methods)
• Quantum cryptography (quantum channels, nonlocality, security, error correction)

   Представление на конференцию статей приветствуются как из академического мира, так и из промышленности. Около 80 докладов будут выбраны в виде устных. Все остальные будут представлены в виде постеров. Программа симпозиума будет включать в себя и приглашенные научные доклады. Программный комитет определит, в каком виде будет представлен научный доклад (устный или постер), однако пожелания авторов, конечно, будут учтены.

   Одностраничные тезисы докладов должны содержать оригинальные научные результаты и быть представлены на английском языке.
Для представления устных докладов будет предоставлен стандартный проектор (для «прозрачек») и оборудование для компьютерных презентаций (мультимедийный проектор, компьютер, презентация должна быть выполнена в Microsoft PowerPoint).

   Размер стенда для стендового доклада: 120 см. х 120 см.